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硅片超聲波清洗機
硅片超聲波清洗機 該設備用于晶圓片擴散、蒸發、CAV生產前的清洗處理。該機共有六種清洗方式可供選擇,清洗程序為純水清洗、膽堿清洗、冷熱純水沖洗、酸洗(HF)、純水清洗。
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四槽半自動超聲波清洗機
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